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高速自動化學機械拋光機（CMP,300mm底盤,配自動送料器）
型號：
UNIPOL-1203
產品概述：
UNIPOL-1203化學機械磨拋機，適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術， 整機研磨部分采用防腐材料，耐化學腐蝕，配置自動滴料器和精密磨拋控制儀，全自動觸摸屏面板，從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。
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技術參數(shù)產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
產品名稱型號

·化學機械磨拋機 UNIPOL-1203
特點

·超平不銹鋼拋光盤（平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm）。

·超精旋轉軸（托盤端跳小于0.01mm）。

·設有兩個加工工位，可分別進行控制。

·配有全自動控制觸摸屏面板，可設置主軸轉速、擺臂速度、磨拋時間。

·配置自動滴料器，流量速率可視化調整，自動研磨和拋光。

·配置GPC-100A精密磨拋控制儀，可調節(jié)壓力，修整面型，使磨拋更加方便快捷。

·研磨部分采用防腐材料，耐化學腐蝕。
磨拋主機基本參數(shù)

·設備供電端口：AC220V 50Hz

·總功率：500W(MAX)

·磨拋盤直徑：Φ300 mm 鑄鐵花盤、不銹鋼平盤各1個

·載樣盤直徑：Φ105 陶瓷平板載樣盤、陶瓷修盤環(huán)各1個

·工位數(shù)：2位

·主驅動電機：精密伺服電機 0.45KW

·擺臂驅動電機：直流減速電機 DC24V 0.8W

·下磨拋盤轉速：1-240rpm（速度可調）

·擺臂速度檔位：1-15擋可調

·控制方式：觸摸屏

·設備外形尺寸：L550×W700×H420mm

·凈重：≈82Kg
GPC-100A 精密磨拋控制儀（機械手）

·載樣盤直徑：?103mm

·載樣盤軸向行程：12mm

·數(shù)顯表精度：0.001mm

·載樣盤可調加載壓力：0.1kg-2.0kg

·壓力確認儀有效量程：1-5000g

·樣品裝卡方式:真空吸附

·承載樣件尺寸:直徑≤103mm、厚度≤12mm

·外形尺寸: 外徑Φ146mm，高266mm
SKZD-2 滴料器（滾桶攪拌）

·設備供電端口：DC12 2A (標配電源適配器 IN:AC100-240V OUT：DC12V 2A）

·滴液工位（滴液泵）：4個(1-4位轉換滴液）

·料液瓶容積：500ml/瓶

·驅動控制方式：精密步進電機+蠕動泵+單板機控制器

·滴液方式：蠕動定量滴液

·流量：0.1ml/min-10ml/min（速度可調）

·運行方式：定時運行：范圍：1-999min

·外形尺寸：L230×W370×H450mm
AP-1400V 無油真空泵

·設備供電端口：AC220V 50Hz 450W

·氣流量max：7.2m3/h

·真空度max：-700mmHg（-91KPa）

·噪音：≤60db

·熱保護器：自動復位 130℃±5℃

·外形尺寸：L204×W125×H181mm
應用提示

·設備供電為國標單相交流 220V 50Hz，實際供電參數(shù)以產品后部粘貼標牌為準。

·可按用戶要求定制各種磨拋盤，特殊載樣盤、卡具，專用零部件等
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