| 設(shè)備名稱(chēng)型號(hào) | ·800℃立式超聲霧化輔助CVD系統(tǒng) Msit-CVD-800X |
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| 基本參數(shù) | · 電源：AC 220V 50HZ · 功率：3.3KW |
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| 控制面板 | · 所有參數(shù)都通過(guò)7英寸觸摸屏設(shè)置， · 可以設(shè)置加熱平臺(tái)和硅膠加熱帶的溫度 · 可實(shí)時(shí)顯示腔體內(nèi)部真空度 |
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| 超聲霧化系統(tǒng) | · 設(shè)備中含有一臺(tái)超聲霧化裝置 超聲霧化裝置： · 220VAC ，1.7MHz · 液體罐標(biāo)配為聚四氟乙烯材質(zhì)（其它材質(zhì)的罐子可以與銷(xiāo)售聯(lián)系進(jìn)行定制），并采用氟膠密封圈密封； · 罐蓋上設(shè)有一個(gè)進(jìn)氣口和一個(gè)出霧口，進(jìn)氣口通過(guò)聚四氟管與氣瓶相連，出霧口通過(guò)水管連接到設(shè)備內(nèi)部。 · 可設(shè)置1-3檔霧化量，通過(guò)調(diào)節(jié)檔位大小，控制霧化量的多少； 霧化檔位和進(jìn)液量相對(duì)應(yīng)關(guān)系（僅供參考）如下表，溶液的濃度和進(jìn)氣量的大小會(huì)對(duì)此有影響。具體大小根據(jù)實(shí)際情況來(lái)定。
· 可實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)行霧化和定時(shí)運(yùn)行霧化兩種功能。定時(shí)時(shí)間從30分鐘到180分鐘可調(diào) · 霧化片尺寸：1.2mm×φ20
注射泵： · 標(biāo)配一套液體注射泵，用于自動(dòng)進(jìn)液 · 標(biāo)配一個(gè)最大容積為60ml的注射針筒用于盛放溶液 · 線速度范圍：6.1um-120mm/Min · 注射液體速度：3.9ul-76.5ml/min（按照60ml注射器計(jì)算） · 適用注射器類(lèi)型：10ul-60ml · 控制精度：當(dāng)＞30%滿程時(shí)，控制誤差≤±0.3% |
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| 氣體/蒸汽分散噴頭 | · 材料：哈式合金 · 噴頭直徑：4英寸；噴孔直徑：0.5mm， · 氣體流量：0.2-2L · 噴頭頂部有兩個(gè)進(jìn)氣口，一個(gè)進(jìn)氣口的一端與超聲霧化裝置的出氣口（霧化氣口）連接；另外一個(gè)進(jìn)氣口與設(shè)備背面的出氣口2連接。 兩個(gè)進(jìn)氣口管道都纏繞有硅膠加熱帶，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣口的加熱，加熱帶最高加熱溫度：100℃。
· 氣體分散噴頭特殊的流道設(shè)計(jì)，可使氣體/蒸汽均勻的傳遞和分散到沉積腔體中
· 噴頭與樣品臺(tái)之間的距離20-80mm可調(diào)，旋松接頭上的螺母，即可調(diào)節(jié)噴頭的上下距離。 |
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| 樣品臺(tái) | · 4英寸加熱的樣品臺(tái)，樣品臺(tái)頂部的蓋板為哈氏合金材質(zhì)（用于在高溫下提高耐腐蝕性能） · 溫度：最高溫度700℃（＜1h）；長(zhǎng)期使用溫度：600℃ · 控溫精度：±5℃，可實(shí)現(xiàn)28段程序PID控溫； · 可放入樣品最大尺寸：φ100mm · 樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)速度1-5RPM（可調(diào)）
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| 真空腔室 | · 石英腔室尺寸：約166 mm 外徑 X 150 mm 內(nèi)徑 x 250 mm高度 · 通過(guò)不銹鋼材質(zhì)的法蘭密封，確保腔體真空度：10-5torr（分子泵系統(tǒng)），10-2Torr(機(jī)械泵） · 法蘭上含有兩個(gè)φ6.35mm的雙卡套接頭，一個(gè)為進(jìn)氣口，一個(gè)為出氣口，分別通過(guò)一個(gè)不銹鋼針閥控制氣體的通斷； 一個(gè)量程為-0.1-0.15MPa的機(jī)械壓力表用于觀察腔體內(nèi)部壓力;一個(gè)KF16接口安裝了一個(gè)數(shù)顯防腐真空計(jì) · 腔體底部有一個(gè)KF25接口為抽真空接口，可通過(guò)不銹鋼波紋管與真空系統(tǒng)連接（波紋管與真空系統(tǒng)客戶(hù)自備） · 腔室外部包裹了一個(gè)陶瓷加熱環(huán)，最高加熱溫度為150℃。陶瓷加熱環(huán)上留有觀察窗口，可以觀察到樣品臺(tái)上的基片。
· 腔體底部法蘭帶有傾斜角度，在平面度最低的位置留有排水口，使霧化的冷凝水能從排水口流出，流出的冷凝水通過(guò)排水管流入到收集器內(nèi)，一個(gè)球閥控制排出。
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| 設(shè)備外形尺寸 |
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| 重量 | ·約180KG |
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| 質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期，終生維護(hù) · 特別提示： 1、耗材部分如加熱元件、石英管、樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
使用注意事項(xiàng) | · 石英腔體內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對(duì)氣壓）； · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa， 建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全； · 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)， 若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶(hù)使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶(hù)工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請(qǐng)客戶(hù)自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題，本公司概不負(fù)責(zé)。 |
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