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1300℃高壓助溶劑法晶體生長爐
型號：
CM-HIP-3-II
產(chǎn)品概述：
1300℃高壓助溶劑法晶體生長爐如圖片所示，采用內(nèi)加熱方式，鉬絲為加熱元件，鉬+不銹鋼反射屏為隔熱材料。腔室為不銹鋼材質(zhì)，在1300℃以內(nèi)可以承受10Mpa的高壓。是采用助溶劑法生長氮化鎵（GaN）等晶體材料的理想設備。
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技術參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
設備名稱型號

· 1300℃高壓助溶劑法晶體生長爐  CM-HIP-3-II
結構

· 腔體采用SS304不銹鋼制作

· 腔體上安裝有安全閥（當腔體壓力超過設置的最大值時，安全閥將自動泄壓）

· 不銹鋼腔體外安裝有一防爆箱

· 設備安裝有移動輪，方便移動

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基本參數(shù)

· 總功率：12 KW

· 電源：三相AC 380V 50/60HZ

· 加熱元件：鉬絲

· 最高加熱溫度：1300℃

· 最大壓力：10MPa

· 建議升溫速率：4℃/min

· 加熱區(qū)高度： 120mm+120mm（雙溫區(qū)獨立控溫）
爐腔與法蘭

· 腔體采用SS304不銹鋼制作（帶有水冷夾層，設備中配有水冷機）

· 腔體尺寸：φ320mm（外腔）*φ235mm（內(nèi)腔）*413mm（高度不含法蘭蓋）

· 腔體內(nèi)部加熱區(qū)尺寸：φ110 * 240(120+120) mm

· 可放入坩堝尺寸：≤ φ90mm*100mm(H)

· 腔體上蓋安裝有壓力傳感器實時監(jiān)測腔體內(nèi)的壓力變化

· 腔體采用雙重安全保護的設計思路，同時安裝有電磁安全閥和機械安全閥，當腔體壓力超過最大上限壓力時，安全閥將自動進行排氣

· 安全閥上限壓力范圍：≤11MPa

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· 腔體上蓋中間位置安裝了一截細長型的小腔室，一個強磁鋼套在小腔室外部，腔室內(nèi)部安裝有磁性金屬桿，金屬桿下端安裝了一個陶瓷桿，陶瓷桿尾段有螺紋用于固定樣品；提拉桿穿過腔體上蓋和坩堝蓋到達腔體內(nèi)部樣品的位置。腔體上蓋安裝了一個電動滑臺，強磁鋼一端固定在滑臺上，通過磁鋼的移動帶動腔體內(nèi)部的樣品上下移動

· 提拉桿移動速度：5—100mm/min（可調(diào)）

· 提拉桿提拉行程：80mm

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溫控系統(tǒng)與觸摸屏

· 包含兩個控溫儀表，每個溫區(qū)單獨控制

· PID自動控溫系統(tǒng)

· 控溫精度：±1℃

· 熱電偶：采用進口歐米茄C型熱電偶

· 設備標配一個觸摸屏，可在觸摸屏上設置兩個儀表的升溫程序

· 可在觸摸屏上查看設備的升溫曲線，并可保存和導出數(shù)據(jù)

· 可在觸摸屏上設置實驗所需要的壓力；實驗時腔體內(nèi)部的壓力實時顯示

· 水冷設備、真空泵、以及真空閥門等均可在觸摸屏上進行開啟與關閉

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最高工作壓力

· 10MPa(1300℃時)(充5個9高純氬氣)

· 腔體上安裝有安全閥（當腔體壓力超過設置的最大值時，安全閥將自動泄壓）

· 工作氣體：Ar, N2
真空系統(tǒng)

· 一臺雙級旋片式真空泵，真空泵型號：VRD-48；

· 配備VRD-48真空泵能夠達到的真空度 5*10-2 torr（冷態(tài)下，抽真空30min）

· 可根據(jù)客戶需要選配分子泵系統(tǒng)（具體要求可與銷售聯(lián)系定制）

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· VRD-48  

· 抽氣速率：13.3 L/S

· 極限壓力：4*10-1Pa（不帶負載，單獨機械泵）

· 額定功率：1500
水冷系統(tǒng)

· 設備需要配置一臺CW-6200的水冷機，用于對高壓腔室和加熱電極進行水冷保護

· 輸入電壓：220-240V  50HZ

· 輸入電流：0.5-4.5A

· 最大功率：1.8KW

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空氣壓縮機

· 功率：370W

· 壓力：0.8MPa

· 電源：220V 50HZ

· 排氣量：49L/min
設備外形尺寸

· 防爆箱關閉：長1280mm*寬950mm*高1600mm

· 防爆箱開啟：長1720mm*寬950mm*高2180mm

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重量

· 約700KG


  注意事項

· 熱等靜壓爐升溫速率不得超過6度/min，否則會造成爐膛開裂和加熱絲斷裂。

· 法蘭表面的溫度很高，請注意不要觸摸，防止燙傷。

· 該設備可正常燒制到1300℃，最高壓力為10MPa(在高純氬氣環(huán)境下），請不要過溫或過壓使用。

· 不得通氯化物、硫化物等易腐蝕的氣體，否則容易損壞法蘭，波紋管（選配）等不銹鋼材質(zhì)的配件。

· 由于加熱元件是鉬絲，在高溫下容易氧化，故只能通入高純氬氣，氮氣等惰性氣體，不可通入氧氣，以免鉬絲損壞。

· 爐內(nèi)溫度變成常溫后方可打開上蓋。此時樣品溫度仍可能較高，請注意，或佩帶手套或其他工具操作。


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