| 系統(tǒng)結(jié)構(gòu) | ? 霧化裝置：配有1.7MHz超聲霧化儀，可將液體霧化成液體顆粒，導(dǎo)入到管式爐中。 ? 真空系統(tǒng)：極限真空度為5×10-1Pa（不帶負(fù)載） |
| 管式爐-加熱部分 | ? 電壓：單相, 220V AC,50/60 Hz ? 最大功率：5KW ? 連續(xù)工作溫度：1100℃ ? 最高工作溫度：1200℃（＜1h） ? 推薦升溫速率≤ 10℃/min ? 加熱元件：電阻絲 ? 加熱區(qū)長度：600mm（150mm+300mm+150mm） 控溫系統(tǒng)： · 三個溫區(qū)分別有三個獨立的溫控系統(tǒng)控制 · 包含三個858P型溫度控制器 · PID自動控溫系統(tǒng) · 可設(shè)置50段升降溫程序，并帶有過熱和斷偶保護(hù) · 控溫精度為：+/- 1oC · 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口 · 可選購電腦溫度控制軟件(用于858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù) 爐管： ? 采用高純石英管 ? 石英管尺寸：Φ130*1200mm 密封法蘭： ·一對φ130mm的水冷法蘭安裝在爐管兩端，采用硅膠O型圈密封；兩端法蘭上有水管接口，通過串聯(lián)的方式與水冷設(shè)備連接。 · 左端法蘭上的一個φ6.35mm的卡套接頭為進(jìn)氣口，一個不銹鋼針閥控制進(jìn)氣的通斷；安裝了一個量程-0.1-0.15MPa的機(jī)械壓力表用于觀察爐管內(nèi)壓力； 法蘭的KF接口上連接了一個快接接頭與霧化裝置相連；法蘭內(nèi)部安裝了一根進(jìn)霧管，使氣霧能直接到達(dá)基片的位置。 · 右端法蘭上的一個φ6.35mm的卡套接頭為出氣口，一個不銹鋼針閥控制出氣的通斷；安裝了一個安全泄壓閥，當(dāng)爐管內(nèi)壓力達(dá)到上限壓力時，安全閥自動打開排氣； 一個KF25接口連接了一個不銹鋼三通，三通上的KF25接口與真空系統(tǒng)連接；三通上的KF16接口為備用接口，可選配安裝數(shù)顯壓力表。
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| 超聲霧化裝置 | ·配置有1套超聲霧化裝置 霧化裝置參數(shù)： ? 220VAC ，1.7MHz ? 液體罐標(biāo)配為316不銹鋼材質(zhì)（PTFE及其它材質(zhì)的罐子可以與銷售聯(lián)系進(jìn)行定制），并采用氟膠密封圈密封； · 罐蓋上設(shè)有一個進(jìn)氣口和一個出霧口，進(jìn)氣口通過四氟管與供氣系統(tǒng)相連，出霧口通過水管連接到設(shè)備內(nèi)部。 ? 可設(shè)置1-3檔霧化量，通過調(diào)節(jié)檔位大小，控制霧化量的多少； ? 可實現(xiàn)連續(xù)運行霧化和定時運行霧化兩種功能。定時時間從30分鐘到180分鐘可調(diào) · 霧化片尺寸：1.2mm×φ20 注射泵參數(shù)： · 標(biāo)配一套液體注射泵，用于自動進(jìn)液 · 標(biāo)配一個最大容積為60ml的注射針筒用于盛放溶液 · 4.3寸彩色液晶觸摸屏方便操作 · 線速度范圍：6.1um-120mm/Min · 注射液體速度：3.9ul-76.5ml/min（按照60ml注射器計算） · 適用注射器類型：10ul-60ml · 控制精度：當(dāng)＞30%滿程時，控制誤差≤±0.3%
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| 供氣系統(tǒng) | · 型號：GSL-3Z-LCD · 電源：AC 220V 50HZ · 功率：23W · 流量計量程：一路：1-200sccm 二路：1-200sccm 三路：1-500sccm · 精度：±1.5%FS · 線性：±(0.5～1.5)%F.S. · 重復(fù)精度：±0.2%F.S. · 最大壓力：3*106Pa · 供氣系統(tǒng)的混氣出口通過氣管與霧化罐的進(jìn)氣口相連。
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| 真空系統(tǒng) | · 型號：VRD-8 · 抽氣速率：2.2 L/S · 電機(jī)功率：370 W · 極限壓強(qiáng)：5×10-1Pa（不帶負(fù)載） · 為了得到更高的真空度，可以選購我公司的其他高真空系統(tǒng) |
| 水冷設(shè)備（選配） | · 型號：KJ-5000 · 工作電壓：AC 220V 50HZ · 工作電流：1.4-2.1A，制冷量：2361Btu/h · 壓縮機(jī)功率：300W，水箱容量：6L · 最大流量：16L/min，凈重：24 Kg · 外形尺寸：550*280*430mm
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| 重量 | ·約180kg |
| 外形尺寸 | ·2000mm（L）*800mm（W）*1400mm（H）
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| 質(zhì)保期 | ? 一年質(zhì)保，終身維護(hù)（不包含爐管，密封圈和加熱元件） |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | ? CE認(rèn)證 ? 所有電器元件（＞24V）都可以選擇通過UL/MET/CSA認(rèn)證 ? 若客戶出認(rèn)證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證 |
使用注意事項 | · 石英腔體內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對氣壓）； · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa， 建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； · 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)， 若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負(fù)責(zé)。 |
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