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  • 6um厚Cu箔
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  • 1200度旋轉(zhuǎn)粉末ALD系統(tǒng)
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  • 鑄鋁拋光盤
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  • 1700℃單溫區(qū)三通道混氣真空管式爐(配73mm氧化鋁管和防腐真空計(jì))
  • 真空儲(chǔ)存罐70mL
  • 雙工位定向儀
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  • 真空旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)
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